up

Вакуумные системы и технологии

The course has already started
69 days
До конца записи
  • 10 недели

    длительность курса

  • от 2 до 3 часов в неделю

    понадобится для освоения

  • 2 зачётных единицы

    для зачета в своем вузе

О курсе

Вакуумные технологии - ключ к нашему высокотехнологичному обществу. Они используются для большого количества технических процессов и продуктов, включая компьютерные чипы, наноструктуры, микроэлектронные покрытия и компоненты, а также в области химии и биологии. В этом инженерном курсе вы получите полный обзор конструкции и принципов работы вакуумных устройств и систем, которые помогут вам лучше проектировать различные материалы и технологии.

Курс является двуязычным (читается на английском языке с русскими субтитрами) и предназначен в первую очередь для иностранных студентов, обучающихся в России. 

Формат

Курс состоит из 6 модулей и рассчитан на 10 недель обучения.

Программа курса

Модуль 1. Теория вакуума

  • Применение вакуума. Ознакомление с молекулярно-кинетической теорией газов
  • Молекулярно-кинетическая теория газов
  • Явления сорбции в вакууме
  • Конденсация и испарение
  • Физические процессы в вакууме

Модуль 2. Механические средства получения вакуума

  • Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 1.
  • Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 2
  • Турбинные и диффузионные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
  • Эжекторный насос. Вакуумные ловушки. Конструкция, принципы работы и характеристики

Модуль 3. Физико-химические средства получения вакуума

  • Ионные и ионно-геттерные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
  • Сублимационные и распылительные ионные насосы. Конструкция, принцип работы, характеристики
  • Сорбционно-конденсационные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики

Модуль 4. Методы измерения давления

  • Методы измерения общего давления. Анероидные и гидростатические вакуумметры
  • Методы измерения общего давления. Тепловые вакуумметры
  • Методы измерения общего давления. Ионизационные вакуумметры
  • Методы измерения парциального давления. Тип анализаторов и ловушек
  • Методы измерения парциального давления. Масс-спектрометры

Модуль 5. Конструктивные элементы вакуумных систем

  • Клапаны и затворы. Конструкция, принцип работы
  • Смотровые клапаны. Конструкция, принцип работы
  • Вакуумный ввод
  • Методы обнаружения утечек

Модуль 6. Принципы построения вакуумных систем

  • Расчет вакуумных систем для выбора вакуумных насосов
  • Вакуумные системы с диффузионными и турбинными насосами
  • Вакуумные системы с ионными и конденсационными насосами
  • Тип уплотнения

Результаты обучения

Знание основ теории вакуума и принципов проектирования вакуумных систем.

Валиков Роман Александрович


Должность: инженер кафедры физических проблем материаловедения НИЯУ МИФИ

Похожие курсы