Вакуумные системы и технологии

Вакуумные технологии - ключ к нашему высокотехнологичному обществу. Они используются для большого количества технических процессов и продуктов, включая компьютерные чипы, наноструктуры, микроэлектронные покрытия и компоненты, а также в области химии и биологии. В этом инженерном курсе вы получите полный обзор конструкции и принципов работы вакуумных устройств и систем, которые помогут вам лучше проектировать различные материалы и технологии.

Курс является двуязычным (читается на английском языке с русскими субтитрами) и предназначен в первую очередь для иностранных студентов, обучающихся в России. 

Курс состоит из 6 модулей и рассчитан на 10 недель обучения.

Физическое материаловедение [Текст] : в 8-ми т. / ред. Б. А. Калин. - 3-е изд., перераб. - Москва : НИЯУ МИФИ

Модуль 1. Теория вакуума

• Применение вакуума. Ознакомление с молекулярно-кинетической теорией газов
• Молекулярно-кинетическая теория газов
• Явления сорбции в вакууме
• Конденсация и испарение
• Физические процессы в вакууме

Модуль 2. Механические средства получения вакуума

• Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 1.
• Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 2
• Турбинные и диффузионные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
• Эжекторный насос. Вакуумные ловушки. Конструкция, принципы работы и характеристики

Модуль 3. Физико-химические средства получения вакуума

• Ионные и ионно-геттерные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
• Сублимационные и распылительные ионные насосы. Конструкция, принцип работы, характеристики
• Сорбционно-конденсационные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики

Модуль 4. Методы измерения давления

• Методы измерения общего давления. Анероидные и гидростатические вакуумметры
• Методы измерения общего давления. Тепловые вакуумметры
• Методы измерения общего давления. Ионизационные вакуумметры
• Методы измерения парциального давления. Тип анализаторов и ловушек
• Методы измерения парциального давления. Масс-спектрометры

Модуль 5. Конструктивные элементы вакуумных систем

• Клапаны и затворы. Конструкция, принцип работы
• Смотровые клапаны. Конструкция, принцип работы
• Вакуумный ввод
• Методы обнаружения утечек

Модуль 6. Принципы построения вакуумных систем

• Расчет вакуумных систем для выбора вакуумных насосов
• Вакуумные системы с диффузионными и турбинными насосами
• Вакуумные системы с ионными и конденсационными насосами
• Тип уплотнения

Знание основ теории вакуума и принципов проектирования вакуумных систем.

Знать основы теории вакуума и принципов построения вакуумных систем

Уметь проводить базовые расчеты в области вакуумных систем

Владеть навыками проектирования новых материалов и технологий с использованием вакуумных устройств и систем