-
10 недели
-
от 2 до 3 часов в неделю
-
2 зачётных единицы
О курсе
Вакуумные технологии - ключ к нашему высокотехнологичному обществу. Они используются для большого количества технических процессов и продуктов, включая компьютерные чипы, наноструктуры, микроэлектронные покрытия и компоненты, а также в области химии и биологии. В этом инженерном курсе вы получите полный обзор конструкции и принципов работы вакуумных устройств и систем, которые помогут вам лучше проектировать различные материалы и технологии.
Курс является двуязычным (читается на английском языке с русскими субтитрами) и предназначен в первую очередь для иностранных студентов, обучающихся в России.
Курс состоит из 6 модулей и рассчитан на 10 недель обучения.
Программа курса
Модуль 1. Теория вакуума
- Применение вакуума. Ознакомление с молекулярно-кинетической теорией газов
- Молекулярно-кинетическая теория газов
- Явления сорбции в вакууме
- Конденсация и испарение
- Физические процессы в вакууме
Модуль 2. Механические средства получения вакуума
- Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 1.
- Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 2
- Турбинные и диффузионные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
- Эжекторный насос. Вакуумные ловушки. Конструкция, принципы работы и характеристики
Модуль 3. Физико-химические средства получения вакуума
- Ионные и ионно-геттерные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
- Сублимационные и распылительные ионные насосы. Конструкция, принцип работы, характеристики
- Сорбционно-конденсационные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики
Модуль 4. Методы измерения давления
- Методы измерения общего давления. Анероидные и гидростатические вакуумметры
- Методы измерения общего давления. Тепловые вакуумметры
- Методы измерения общего давления. Ионизационные вакуумметры
- Методы измерения парциального давления. Тип анализаторов и ловушек
- Методы измерения парциального давления. Масс-спектрометры
Модуль 5. Конструктивные элементы вакуумных систем
- Клапаны и затворы. Конструкция, принцип работы
- Смотровые клапаны. Конструкция, принцип работы
- Вакуумный ввод
- Методы обнаружения утечек
Модуль 6. Принципы построения вакуумных систем
- Расчет вакуумных систем для выбора вакуумных насосов
- Вакуумные системы с диффузионными и турбинными насосами
- Вакуумные системы с ионными и конденсационными насосами
- Тип уплотнения
Результаты обучения
Знание основ теории вакуума и принципов проектирования вакуумных систем.